手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
賦能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新！第四屆半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上研討會報名開啟
選擇高純水標(biāo)準(zhǔn)的好處：
1 主題內(nèi)容與通用范圍
本標(biāo)準(zhǔn)給出了電力半導(dǎo)體器件工藝用高純水(以下稱高純水)的級別、技術(shù)要求、測試方法和規(guī)則。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于去離子處理后的高純水。
2 引用標(biāo)準(zhǔn)
GB11446電子級水及其檢測方法
3術(shù)語
3．1 電導(dǎo)率electrical conductivityctricalconduc2ivity
在規(guī)定溫度下，1cm3水溶液兩相對面之間測得的電阻值的倒數(shù)。電導(dǎo)率通常以μS/cm為單位。
水的理論電導(dǎo)率為0.0548μs/cm(25℃時)。
3．2電阻率 resistivity
電導(dǎo)率之倒數(shù)。純水的理論電阻率為18.3MΩ.cm(25℃時)。溫度升高時電阻率下降。
3．3顆粒性物質(zhì)granular sulbstance
除氣體以外，以非液態(tài)形式分散在水中，并形成非均勻相混合物的物質(zhì)。
3．4總有機碳(TOC)total organic carbon
水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被—般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊化的有機物。
3．5總固體 total solid
水樣蒸發(fā)、烘干后殘留的固總量。
3. 6全硅 total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量。全硅和可溶性硅之差即叫為膠體硅。
3．7高純水high-pure water, ultrapure water
電阻率在5MΩ·cm以上，各種形式存在的物質(zhì)含量有一定規(guī)定限制的很純凈水
3．8原水raw watcr
純化處理之前的水。常用的原水將自來水、井水、河水等。
3．9終端 terminal。
高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過各道沖化工藝后，水的出口使用地點?？煞謩e稱為制水終端和用水
3．10微量micro-amount
試樣量在1mg左右。
3．11 痕量 trace amount
試樣量在1μg左右。
3．12百萬分之一(ppm) part per million
重量比的量，相當(dāng)于每百萬重量的溶液中含一單位重量的溶質(zhì)。在水質(zhì)分析中，一殷也認為相當(dāng)
每升水樣含雜質(zhì)的毫克數(shù)(mg／L)。
3．13十億分之一(ppb)part per billion
重量比的單位，相當(dāng)于每十億重量單位重量的溶液中含一單位重量的溶質(zhì)，在水質(zhì)分折中，一般
認為相當(dāng)于短升水樣含雜質(zhì)的微克數(shù)(μg／L)。
4高純水的級別
4．1高純水可分為電子級高純水和普通高純水，分別用符號EH和pH標(biāo)志。
4. 2電子級高純水
4．2．1在制造工藝中使用電子級高純水的電力半導(dǎo)體器件有如下特點：
a．具有精細圖形結(jié)構(gòu)；
b．對器件表面有特殊要求；
c．工藝對水質(zhì)有特定的嚴(yán)格要求。
4．2．2電子級高純水分為兩個級別：特級和I級。它們的標(biāo)志分別是：
特級電子級高純水：EH—T
一級電子級高純水：EH—1
4．3普通高純水
4．3．1普通高純水用于一般電力半導(dǎo)體器件的制造工藝中。
4．3．2普雙高純水分為三個級別：Ⅰ級、Ⅱ級和Ⅲ級。它們的標(biāo)志分別是：
I級普通高純水：pH—Ⅰ
x級普通高純水：PH—Ⅱ
m級普通高純水：pH—Ⅲ
4. 4電阻率低于5MΩ·cm的水不能稱為高純水。
5技術(shù)要求
5．1電子級高純水
5．1．1電子級高純水應(yīng)考核四項內(nèi)容：
a. 水中自由離子濃度(主要影響電阻率)；
b．水中懸浮微粒的數(shù)量和大??；
C. 水中有機物總量；
d. 水中細菌微生物狀況。
5. 1. 2電子級高純水的各項技術(shù)指標(biāo)由表1給出。
1 主題內(nèi)容與通用范圍
本標(biāo)準(zhǔn)給出了電力半導(dǎo)體器件工藝用高純水(以下稱高純水)的級別、技術(shù)要求、測試方法和規(guī)則。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于去離子處理后的高純水。
2 引用標(biāo)準(zhǔn)
GB11446電子級水及其檢測方法
3術(shù)語
3．1 電導(dǎo)率electrical conductivityctricalconduc2ivity
在規(guī)定溫度下，1cm3水溶液兩相對面之間測得的電阻值的倒數(shù)。電導(dǎo)率通常以μS/cm為單位。
水的理論電導(dǎo)率為0.0548μs/cm(25℃時)。
3．2電阻率 resistivity
電導(dǎo)率之倒數(shù)。純水的理論電阻率為18.3MΩ.cm(25℃時)。溫度升高時電阻率下降。
3．3顆粒性物質(zhì)granular sulbstance
除氣體以外，以非液態(tài)形式分散在水中，并形成非均勻相混合物的物質(zhì)。
3．4總有機碳(TOC)total organic carbon
水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被—般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊化的有機物。
3．5總固體 total solid
水樣蒸發(fā)、烘干后殘留的固總量。
3. 6全硅 total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量。全硅和可溶性硅之差即叫為膠體硅。
3．7高純水high-pure water, ultrapure water
電阻率在5MΩ·cm以上，各種形式存在的物質(zhì)含量有一定規(guī)定限制的很純凈水
3．8原水raw watcr
純化處理之前的水。常用的原水將自來水、井水、河水等。
3．9終端 terminal。
高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過各道沖化工藝后，水的出口使用地點?？煞謩e稱為制水終端和用水
3．10微量micro-amount
試樣量在1mg左右。
3．11 痕量 trace amount
試樣量在1μg左右。
3．12百萬分之一(ppm) part per million
重量比的量，相當(dāng)于每百萬重量的溶液中含一單位重量的溶質(zhì)。在水質(zhì)分析中，一殷也認為相當(dāng)
每升水樣含雜質(zhì)的毫克數(shù)(mg／L)。
3．13十億分之一(ppb)part per billion
重量比的單位，相當(dāng)于每十億重量單位重量的溶液中含一單位重量的溶質(zhì)，在水質(zhì)分折中，一般
認為相當(dāng)于短升水樣含雜質(zhì)的微克數(shù)(μg／L)。
4高純水的級別
4．1高純水可分為電子級高純水和普通高純水，分別用符號EH和pH標(biāo)志。
4. 2電子級高純水
4．2．1在制造工藝中使用電子級高純水的電力半導(dǎo)體器件有如下特點：
a．具有精細圖形結(jié)構(gòu)；
b．對器件表面有特殊要求；
c．工藝對水質(zhì)有特定的嚴(yán)格要求。
4．2．2電子級高純水分為兩個級別：特級和I級。它們的標(biāo)志分別是：
特級電子級高純水：EH—T
一級電子級高純水：EH—1
4．3普通高純水
4．3．1普通高純水用于一般電力半導(dǎo)體器件的制造工藝中。
4．3．2普雙高純水分為三個級別：Ⅰ級、Ⅱ級和Ⅲ級。它們的標(biāo)志分別是：
I級普通高純水：pH—Ⅰ
x級普通高純水：PH—Ⅱ
m級普通高純水：pH—Ⅲ
4. 4電阻率低于5MΩ·cm的水不能稱為高純水。
5技術(shù)要求
5．1電子級高純水
5．1．1電子級高純水應(yīng)考核四項內(nèi)容：
a. 水中自由離子濃度(主要影響電阻率)；
b．水中懸浮微粒的數(shù)量和大??；
C. 水中有機物總量；
d. 水中細菌微生物狀況。
5. 1. 2電子級高純水的各項技術(shù)指標(biāo)由表1給出。
該廠商推薦產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心