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賦能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新！第四屆半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上研討會報(bào)名開啟
zui近給大家介紹一新制備高純硝酸的制備方法，就是以工業(yè)級硝酸為原料，加入硝酸金屬鹽進(jìn)行反應(yīng)，經(jīng)微濾膜進(jìn)行膜過濾去除硝酸中的雜質(zhì)陰離子，通過三聚氰胺-甲醛-硫脲樹脂/聚丙烯酸樹脂復(fù)合材料膜進(jìn)行膜過濾去除硝酸中的雜質(zhì)陽離子，過濾液通過精餾、高純水調(diào)配、吹白、微濾膜膜過濾，得到目標(biāo)產(chǎn)物。用本發(fā)明方法得到的高純硝酸含量為69-70wt％，雜質(zhì)金屬離子低于1ppb，大于0.5微米的塵埃顆粒低于5個/毫升，符合SEMI?C8的標(biāo)準(zhǔn)，微濾膜進(jìn)行膜過濾，三聚氰胺-甲醛-硫脲樹脂/聚丙烯酸樹脂復(fù)合材料膜進(jìn)行膜過濾，可有效去除工業(yè)級硝酸中的雜質(zhì)陰、陽離子，且制作復(fù)合材料膜的原料可重復(fù)使用，產(chǎn)品純度好，適于工業(yè)化生產(chǎn)。
其特征在于，包括以下步驟：將硝酸金屬鹽加入75.0?80.0wt％工業(yè)級硝酸中，室溫下攪拌，生成的沉淀在0.1?0.2MPa的壓力下通過孔徑為0.1?0.2μm的微濾膜進(jìn)行膜過濾，得到的預(yù)處理液在室溫，0.1?0.5MPa的壓力下通過孔徑為0.1?0.2μm的三聚氰胺?甲醛?硫脲樹脂/聚丙烯酸樹脂復(fù)合材料膜進(jìn)行膜過濾，得到的過濾液通入精餾塔，在塔頂溫度120?125℃，回流比1:2?3條件下進(jìn)行精餾，經(jīng)塔頂冷凝器冷凝，收集得到的精餾液通入中間槽，用超純水稀釋調(diào)配到硝酸的含量為69?70wt％，用凈化空氣吹白，吹白液經(jīng)孔徑為0.1?0.2μm的微濾膜進(jìn)行膜過濾，制備得到高純硝酸。
其特征在于，包括以下步驟：將硝酸金屬鹽加入75.0?80.0wt％工業(yè)級硝酸中，室溫下攪拌，生成的沉淀在0.1?0.2MPa的壓力下通過孔徑為0.1?0.2μm的微濾膜進(jìn)行膜過濾，得到的預(yù)處理液在室溫，0.1?0.5MPa的壓力下通過孔徑為0.1?0.2μm的三聚氰胺?甲醛?硫脲樹脂/聚丙烯酸樹脂復(fù)合材料膜進(jìn)行膜過濾，得到的過濾液通入精餾塔，在塔頂溫度120?125℃，回流比1:2?3條件下進(jìn)行精餾，經(jīng)塔頂冷凝器冷凝，收集得到的精餾液通入中間槽，用超純水稀釋調(diào)配到硝酸的含量為69?70wt％，用凈化空氣吹白，吹白液經(jīng)孔徑為0.1?0.2μm的微濾膜進(jìn)行膜過濾，制備得到高純硝酸。
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