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高分辨率飛秒激光直接光刻微細(xì)加工系統(tǒng)在中國(guó)科技大學(xué)安裝

來(lái)源:孚光精儀(中國(guó))有限公司 2019年02月14日 10:55

高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)在中國(guó)科技大學(xué)安裝

孚光精儀高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)日前在中國(guó)科技大學(xué)中科院量子信息重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室安裝成功,成為代表我公司飛秒激光微加工光刻機(jī)裝備和服務(wù)水平的又一力作.

這套高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)具有當(dāng)今上飛秒激光直寫(xiě)光刻微加工的水平,為中國(guó)科技大學(xué)科學(xué)研究提供可靠保障,可廣泛用于紫外飛秒微加工,飛秒微納加工和飛秒精細(xì)加工的各種應(yīng)用.
這套高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)有全自動(dòng)化控制加工功能,自動(dòng)樣品納米級(jí)定位系統(tǒng),自動(dòng)調(diào)整激光偏振和激光能量調(diào)整功能,真正實(shí)現(xiàn)了省心,操作,非常適合激光微納加工的探索研究。
紫外飛秒激光與物質(zhì)的相互作用是jianduan的課題,紫外光具有更高的光子能量,對(duì)材料的微納加工更具優(yōu)勢(shì),紫外波段超快激光與物質(zhì)的相互作用值得探索,然而紫外飛秒激光的穩(wěn)定應(yīng)用相比于基頻光更為困難,這一難題在孚光精儀歐洲中心突破后,實(shí)現(xiàn)媲美基頻光的穩(wěn)定性和可靠性,并發(fā)射出適合科學(xué)研究的激光能量。
 

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