賦能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新!第四屆半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上研討會(huì)報(bào)名開啟
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本裝置具有抽真空、回收貯存、充放、灌瓶、凈化干燥五個(gè)基本功能及相應(yīng)的組合功能,下面按各功能分別說(shuō)明其操作,參見附錄四操作面板流程圖,操作時(shí)應(yīng)注意按先后順序進(jìn)行。
漢儀電氣技術(shù)力量雄厚專業(yè)生產(chǎn):大電流發(fā)生器,互感器綜合特性測(cè)試儀,Q3-V靜電電壓表,滑觸線指示燈,高壓開關(guān)機(jī)械特性測(cè)試儀,回路電阻測(cè)試儀等產(chǎn)品
過(guò)硬的產(chǎn)品質(zhì)量,完善的售后服務(wù)體系,讓漢儀電氣在短短的數(shù)十年成為大型電力公司,電力安裝公司,供應(yīng)商,所出售的儀器儀表均質(zhì)保三年,如遇故障請(qǐng)及時(shí)本公司,切勿自行打開機(jī)箱,本公司出售多款儀器儀表如:微機(jī)繼電保護(hù)測(cè)試儀,大電流發(fā)生器,智能回路電阻測(cè)試儀,蓄電池組負(fù)載測(cè)試儀等產(chǎn)品,咨詢。
操作說(shuō)明及注意事項(xiàng) 進(jìn)入工作狀態(tài)的操作應(yīng)是在完成第四節(jié)有關(guān)內(nèi)容的工作后才能進(jìn)行。
閥門在下述開機(jī)時(shí)均假設(shè)處于關(guān)閉狀態(tài)。
1、抽真空
指將裝置或系統(tǒng)從一個(gè)大氣壓抽本裝置極限真空度或認(rèn)定的真空度。
注意點(diǎn):
- 開真空泵抽真,根據(jù)需要決定是否連接管路排放室外。
- 開真空泵抽真,必須保證被抽裝置或系統(tǒng)壓力為零表壓或以下。
- 凡需要觀察真空度時(shí),打開V8閥門,觀察完畢后隨時(shí)關(guān)閉V8閥門。
- 真空保持狀態(tài)下請(qǐng)不要啟動(dòng)SF6壓縮機(jī)。
漢儀氣體抽真空充氣裝置提供承修資質(zhì)
充放
指將貯存于裝置貯存容器內(nèi)的SF6充電器設(shè)備直達(dá)到所需的工作壓力。
- 管路連接后先應(yīng)確定是否需對(duì)電器設(shè)備及管路抽真空,判斷和操作方法見本節(jié)1抽真空有關(guān)內(nèi)容。
- 當(dāng)貯存容器壓力較高時(shí),開V4,直接向電器設(shè)備充氣,可觀察M6壓力表值。
- 當(dāng)貯存容器壓力降低后,無(wú)法直接向電器設(shè)備充氣,在V7處外接氣源通過(guò)V7、V6直接向電器設(shè)備充氣;或外接氣源壓力較低時(shí)也利用壓縮機(jī)將外接氣源的SF6充電器設(shè)備內(nèi),這時(shí)關(guān)V6,開V7、V2、V3、SF6壓縮機(jī)、V4,直達(dá)到所需的工作壓力。
- 停機(jī)應(yīng)將系統(tǒng)內(nèi)的SF6用壓縮機(jī)收貯存容器內(nèi),直吸氣口壓力(M1)為零表壓,關(guān)SF6壓縮機(jī)及有關(guān)閥門。
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真空泵
①使用中注意事項(xiàng)
- 經(jīng)常注意油位。
- 泵起動(dòng)后再打開閥門。
- 經(jīng)常注意泵運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常,有無(wú)特殊聲響,電機(jī)是否超負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)。
- 注意泵溫升不超過(guò)40℃。
- 嚴(yán)禁用煤油、汽油、酒精等對(duì)泵作非拆卸的清洗。
- 若泵長(zhǎng)期擱置不用,應(yīng)將油放盡,然后注入新油。
換油方法
先開泵運(yùn)轉(zhuǎn)約半小時(shí),待油變稀,停泵從放油孔放油。再敞開進(jìn)氣口運(yùn)轉(zhuǎn)10~20秒,此間可以吸氣口緩緩加入少量新油。以更換泵腔內(nèi)的存油,如出來(lái)的油很臟,后者可重復(fù)進(jìn)行,不可用清洗液沖洗泵內(nèi)存油和雜質(zhì)。
④檢修應(yīng)有專門人員進(jìn)行。
油位檢查
回收裝置中壓縮機(jī)采用N46(25#)冷凍機(jī)油作為潤(rùn)滑劑,真空泵采用高速真空泵油作為潤(rùn)滑劑,開機(jī)前應(yīng)先檢查油位。如果油位太低或太高,應(yīng)加油或放油油標(biāo)視鏡中心位置,在運(yùn)行中也應(yīng)注意定期檢查實(shí)際油位線,不應(yīng)低于中心線太多。N46號(hào)冷凍機(jī)油,原則上使用期一年,到期需調(diào)換機(jī)油,用油量見第二節(jié)有關(guān)內(nèi)容,換油方法見第六節(jié)有關(guān)內(nèi)容。
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