賦能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新!第四屆半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上研討會報名開啟
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查看更多充裝SF6氣體時,為什么要對環(huán)境濕度提出具體要求? 充裝時應(yīng)注意些什么?
答:是SF6設(shè)備產(chǎn)生毒害物質(zhì)的一個條件。如果SF6氣體中含有超過規(guī)定的水分,當(dāng)其濕度發(fā)生變化時,就可能凝結(jié)在固體絕緣表面使該面變潮,這時設(shè)備的沿面放電電壓將顯著下降。SF6 氣體在電弧和電暈作用下分解生成的低氟化合物氣體,假如沒有水分子這個外部條件是不會生成SO2、 HF及其它有害物質(zhì)的,從而也就可以避免由它們產(chǎn)生的設(shè)備腐蝕。所以,SF6 設(shè)備在充裝氣體時,必須嚴(yán)密措施防止水份進入。
(1)工作未開始之前,首先應(yīng)測定現(xiàn)場周圍環(huán)境空氣相對濕度≤80%(即空氣中水蒸汽密度和同溫度下飽和水蒸汽密度比的百分值),這是限制空氣含水具體示數(shù)。測定如不合格,則應(yīng)采取措施或重選干燥晴朗的天氣進行充裝。
(2)為使SF6泄漏氣體及時排換,主尖在進行充裝的同時開啟通風(fēng)機,認(rèn)真遵守空氣SF6含量不得超過1000ppm的規(guī)定。在工作開始后的一定時間內(nèi)即應(yīng)進行檢測,并具體情況于中途再進行檢側(cè)。當(dāng)出現(xiàn)SF6 氣體含量增高或超過標(biāo)準(zhǔn)時,應(yīng)隨即對部件進行詳細(xì)檢查,查找原因并予以消除。
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