賦能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新!第四屆半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上研討會(huì)報(bào)名開啟
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查看更多承修SF6氣體抽真空充氣裝置產(chǎn)品簡介在充放時(shí),先利用本裝置的真空泵對SF6電器設(shè)備(或鋼瓶)和連接管路進(jìn)行抽真空,然后直接利用壓差或利用壓縮機(jī)的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內(nèi)的SF6充入SF6電器設(shè)備,直達(dá)到所需的工作壓力。在需灌瓶時(shí)則同時(shí)利用如前所述的R22制冷劑的特性,將液化的SF6直接灌入鋼瓶。
承修SF6氣體抽真空充氣裝置產(chǎn)品簡介
進(jìn)入工作狀態(tài)的操作應(yīng)是在完成第四節(jié)有關(guān)內(nèi)容的工作后才能進(jìn)行。
本裝置具有抽真空、回收貯存、充放、灌瓶、凈化干燥五個(gè)基本功能及相應(yīng)的組合功能,下面按各功能分別說明其操作,參見附錄四操作面板流程圖,操作時(shí)應(yīng)注意按先后順序進(jìn)行。
閥門在下述開機(jī)時(shí)均假設(shè)處于關(guān)閉狀態(tài)。
1、抽真空
指將裝置或系統(tǒng)從一個(gè)大氣壓抽本裝置極限真空度或認(rèn)定的真空度。
注意點(diǎn):
- 開真空泵抽真,根據(jù)需要決定是否連接管路排放室外。
- 開真空泵抽真,必須保證被抽裝置或系統(tǒng)壓力為零表壓或以下。
- 凡需要觀察真空度時(shí),打開V8閥門,觀察完畢后隨時(shí)關(guān)閉V8閥門。
- 真空保持狀態(tài)下請不要啟動(dòng)SF6壓縮機(jī)。
當(dāng)開機(jī)使用或裝置處于通大氣狀態(tài)時(shí)應(yīng)先對裝置本身抽真空,操作方法見下表①
承修SF6氣體抽真空充氣裝置產(chǎn)品簡介
②換油期
新泵跑合運(yùn)轉(zhuǎn)后,可能有少量金屬碎屑和其他雜質(zhì)在油箱中沉積起來,對泵的性能不會(huì)有影響,但以除去為宜,推薦在使用100小時(shí)后,把油放出,把含有雜質(zhì)的少部分油除去,其余的清潔油仍可用濾網(wǎng)過濾后加入泵內(nèi),酌量補(bǔ)充一點(diǎn)新油,以后的換油期,需油用戶根據(jù)使用情況和效果酌情決定。原則為一年更換一次(約2000小時(shí))。
③換油方法
先開泵運(yùn)轉(zhuǎn)約半小時(shí),待油變稀,停泵從放油孔放油。再敞開進(jìn)氣口運(yùn)轉(zhuǎn)10~20秒,此間可以吸氣口緩緩加入少量新油。以更換泵腔內(nèi)的存油,如出來的油很臟,后者可重復(fù)進(jìn)行,不可用清洗液沖洗泵內(nèi)存油和雜質(zhì)。
④檢修應(yīng)有專門人員進(jìn)行。
2、SF6壓縮機(jī)
①使用注意事項(xiàng)
因啟動(dòng)過頻會(huì)影響電機(jī)壽命,所以每小時(shí)啟動(dòng)次數(shù)應(yīng)盡量少于5次,每次停機(jī)時(shí)間應(yīng)在3分鐘以上。
- 盡量避免壓縮機(jī)較長時(shí)間真空運(yùn)轉(zhuǎn),故回收時(shí)要注意觀察壓縮機(jī)進(jìn)氣口壓力,當(dāng)回收初壓力(M1)顯示為零表壓,達(dá)到預(yù)定值,及時(shí)停止壓縮機(jī)回收。
- 運(yùn)轉(zhuǎn)中的油面應(yīng)保持在視油鏡范圍內(nèi),即1/4-3/4位置。缺油停止運(yùn)行。
②換油期
原則上為一年更換一次(約2000小時(shí))
③換油方法
隔斷SF6壓縮機(jī)系統(tǒng),松開回油管接頭,從放油孔放油,清潔后加油中心位置,再連接好回油管路,對SF6壓縮機(jī)抽真空,抽100Pa以下壓縮機(jī)方可投入使用。
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