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形貌仪: 白光干涉+共聚焦三维形貌仪

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其他试验机: 高温硬度仪粘附力试验机气流喷砂冲蚀试验机

轮廓仪: 三维轮廓仪台阶仪白光干涉仪粗糙度表面分析仪

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磁光成像仪

显微镜: 原子力显微镜

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